洁净气体过滤器

核心规格

1. 适用介质：压缩空气、氮气（氮气高 0.99 MPa）；

2. 过滤性能：0.01 μm 精度，颗粒捕捉效率 99.99%；中空纤维膜滤芯；初期压降 0.03 MPa（入口 0.7 MPa、大流量）；

3. 额定流量：100 L/min（ANR）；

4. 连接口径：02 对应 Rc 1/4 内螺纹（N02=F02 分别对应 NPT1/4、G1/4）；

5. 工作压力 / 温度：20°C 时高 1.0 MPa；工作温度 5~45°C；

6. 材质：透明聚碳酸酯外壳（便于观察污染），O 形圈为 H-NBR；可选铝壳 / 不锈钢壳用于化学环境；

7. 更换周期：建议 1 年，或压降达到 0.1 MPa 立即更换；符合 RoHS 标准；防静电洁净包装。

结构与突出特点

• 卡盘式可更换滤芯设计，维护便捷；透明外壳无需拆卸即可判断滤芯脏污；

• 中空纤维膜比传统 PTFE 平膜过滤面积更大、容尘量高，压降更稳定；

• 低发尘材质，适合 Class 1~100 级洁净室；严禁反向安装；

• 可配 SFD-BR100 支架，便于面板 / 管路固定；有树脂 / 铝 / 不锈钢三种壳体可选。

应用场景

• 半导体晶圆蚀刻 / 沉积腔室吹气、液晶面板静电消除器气源、洁净室吹扫；

• 生物医疗、精密分析仪器的载气 / 保护气终端过滤；

• 要求极低颗粒数的自动化设备吹气系统。

安装与维护要点

1. 洁净环境开箱，避免包装外粉尘进入；安装前冲洗上游管路；

2. 严格区分 IN/OUT 流向，严禁反接，否则过滤失效且损伤滤芯；

3. 滤芯耐压差 0.1 MPa；避免油雾、液态水直接进入，建议前置干燥 / 除油雾过滤器；

4. 更换滤芯时，避免用手直接接触滤材；金属壳体版本适合有溶剂 / 化学品的恶劣环境。

供货型号：

SFD100-N02C04

SFD100-N02C04B

SFD100-N02C06

SFD100-N02C06B

SFD100-N02C08

SFD100-N02C08B

SFD101-02

SFD101-F02

SFD101-N02

SFD102-02

SFD102-F02

SFD102-N02

SFD110-02

SFD110-02B

SFD110-C04

SFD110-C04B

SFD110-C06

SFD110-C06B

SFD110-C08

SFD110-C08B

SFD110-F02

SFD110-F02B

SFD110-N02

SFD110-N02B

SFD200-02

SFD200-02C08

SFD200-02C10

SFD200-02C12

SFD200-C08

SFD200-C0802

SFD200-C08C10

SFD200-C08F02

SFD200-C08N02

SFD200-C10

SFD200-C1002

SFD200-C10C08

SFD200-C10C12

SFD200-C10F02

SFD200-C10N02

SFD200-C12

SFD200-C1202

SFD200-C12C10

SFD200-C12F02

SFD200-C12N02

SFD200-F02

SFD200-F02C08

SFD200-F02C10

SFD200-F02C12

SFD200-N02C08

SFD200-N02C10

SFD200-N02C12