洁净气体过滤器 卡盘式

详细介绍SMC SFA100-02洁净气体过滤器，它属于 SFA100/200/300 系列的滤芯可更换盘式过滤器，常用于半导体、电子洁净室等对气体纯度要求高的场景。

核心规格

适用介质：压缩空气、氮气；

过滤精度与效率：0.01 μm，过滤效率达 99.99%，滤材为 PTFE 膜；

额定流量：26 L/min（ANR）；

连接方式：Rc 1/4 内螺纹（02 对应 1/4 口径）；

外形尺寸：高度 A=46 mm，直径 ΦB=76 mm；

工作压力：高 0.99 MPa，可用于超高真空（1.3×10⁻⁶ kPa）；

工作温度：5~80°C；

材质：器身是电解研磨的 SUS316 不锈钢，密封件为氟橡胶（FKM）；

包装：防静电双层密封包装，满足洁净环境开箱要求。

结构与特点

采用可更换 PTFE 膜片滤芯，维护成本低；

316 不锈钢电解研磨外壳，流道光滑，避免颗粒滞留；

整体结构紧凑，盘式设计节省安装空间；

严禁反向安装，滤芯耐压差 0.1 MPa，耐逆压 0.05 MPa。

应用场景

1 主要用于半导体晶圆制造、液晶面板产线、生物制药洁净室、精密分析仪器的载气 / 吹扫气终端精过滤，去除气体中微量亚微米级颗粒。

2 安装与维护要点

3 必须在洁净环境中开箱，避免污染；

4 安装前需冲洗管路，防止管道杂质损伤滤芯；

5 区分 IN/OUT 方向，严禁反接；

6 滤芯建议 1 年更换，或当压降达到 0.1 MPa 时立即更换；

7 配套干燥器、除雾过滤器使用，避免油气、水分进入影响寿命。

供货型号：

SFA100-02

SFA101-02

SFA102-02

SFA103-02

SFA200-02

SFA201-02

SFA202-02

SFA203-02

SFA300-02

SFA301-02

SFA302-02

SFA303-02

SFB100-02

SFB100-02X8

SFB101-02

SFB102-02

SFB103-02

SFB104-M5

SFB300-02

SFB302-02

SFB305-02

SFB315-02

SFC100-02

SFC100-03

SFC102-02

SFC102-03

SFC105-02

SFC105-03